Les structures de vannes de régulation de pression à flux croisés sont attrayantes pour les applications de contrôle de pression à haut débit en raison de la force d'actionnement réduite requise et de la zone d'empreinte réduite du dispositif. Une vanne à guillotine a été fabriquée, contrôlant un débit de 1,3 Nl/min à une pression d'alimentation de 1,5 bar. La valve a été microfabriquée à l'aide d'une gravure ionique réactive profonde (DRIE) et d'une liaison par fusion de silicium. L'utilisation de vannes à guillotine micro-usinées dans les systèmes de contrôle de la pression améliore les performances et permet de réaliser des économies.
Vanne à guillotine
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